低温等离子体这一概念的涵盖相当广泛，它融合了流体力学、化学反应工程、物理动力学、热量传递、质量运移，电磁学等众多学科。COMSOL Multiphysics新近推出的等离子体模块，就是专门用来处理这一类问题的数学工具，它可以方便的处理在众多工程领域内都非常常见的非平衡放电问题。等离子体模块内建了多个建模界面，用于仿真那些最为常见的等离子体反应器类型，包括感应耦合等离子体(Inductively Coupled Plasmas, ICP)，直流放电(DC Discharges)，微波泵浦放电(Microwave Plasmas)，电容耦合等离子体(Capacitively Coupled Plasmas, CCP )。
如果能够模拟等离子体和外部电路的相互作用，那对于全面分析一个放电特性是非常有意义的。COMSOL的等离子体模块不仅提供了相应的工具，可以直接添加电路元件到1D，2D或者3D的COMSOL模型中；而且支持直接导入一个已经做好的SPICE电气连接表(netlist)到COMSOL模型中。
在等离子体化学方面，COMSOL支持用户从文件导入气体碰撞横截面的数据，然后模拟化学反应；也支持用户直接在COMSOL模型中添加化学反应式以及相应的物质种类，从而完成直接建模求解。至于等离子体物理本身那些错综复杂的多物理场之间的耦合，不用担心，COMSOL Multiphysics的等离子体模块会自动处理并给出最终结果。
应用领域：
- 电感耦合等离子体
- 微波等离子体
- 直流放电
- 电容耦合等离子体
- 介质阻挡放电
- 照明
- 等离子体显示板
- 国土安全
- 有害气体破坏
- 等离子源
- 离子源
- 蚀刻技术
- 半导体工艺
